خصائص استخدام شعاع الإلكترون لمعالجة الثقوب الصغيرة في صناعة الآلات

تتم معالجة شعاع الإلكترون تحت ظروف الفراغ، وذلك باستخدام شعاع الإلكترون المركز بكثافة طاقة عالية للغاية للتأثير على مساحة صغيرة جدًا على سطح قطعة العمل بسرعة عالية جدًا. وفي وقت قصير جدًا، تتحول معظم طاقتها إلى طاقة حرارية، بحيث تصل درجة حرارة مادة الشغل الموجودة في الجزء المتأثر إلى درجة حرارة عالية تصل إلى عدة آلاف من الدرجات المئوية، مما يتسبب في تغويز المادة موضعيًا ويتم امتصاصها بعيدًا عن طريق الفراغ. نظام. في الوقت الحاضر، يمكن معالجة الثقوب التي يبلغ قطرها أقل من 3um، وهو أمر مفيد بشكل خاص لحفر العديد من الأجزاء في مجال الإلكترونيات الدقيقة. إنها طريقة معالجة لا غنى عنها في معالجة الثقوب الدقيقة. خصائص معالجة شعاع الإلكترون ①من الناحية النظرية، يمكن لمعالجة شعاع الإلكترون معالجة الثقوب الصغيرة التي يبلغ قطرها أقل من 1um. في الوقت نفسه، يبلغ طول الجزء الأنحف بعد تركيز شعاع الإلكترون عشرات أضعاف قطر مقطعه العرضي، لذلك فهو مناسب لمعالجة الثقوب العميقة الصغيرة ② يمكن التحكم بسهولة في شدة وموضع شعاع الإلكترون عن طريق المجال المغناطيسي والمجال الكهربائي، لذلك من السهل التحكم في البرمجة، وتحقيق حفر ثقب صغير أوتوماتيكي عالي السرعة ③ عندما يقوم شعاع الإلكترون بحفر ثقوب صغيرة، تكون القوة صغيرة، والضغط والتشوه صغيران، ويمكن استخدامه على ثقوب هشة مواد، المواد اللدنة والموصلات وغير الموصلات. ④ يتم إجراء الثقوب الصغيرة لشعاع الإلكترون في فراغ عالي ويتم تنفيذها في الوسط، ويتجنب تمامًا تقريبًا ظاهرة الأكسدة في معالجة الهواء، وهو مناسب بشكل خاص لحفر ثقوب صغيرة في المواد المؤكسدة بسهولة ومواد أشباه الموصلات ذات متطلبات نقاء عالية للغاية. ⑤يتطلب الحفر بشعاع الإلكترون عشرات الآلاف من الفولتات من جهد التسارع وارتفاع الضخ. معدات الفراغ أكثر تعقيدًا وتكلفة. لذلك، لديها بعض القيود في الإنتاج والتطبيق. في الوقت الحاضر، يتم استخدامه بشكل رئيسي في مجال صناعة الإلكترونيات الدقيقة. زوج من: ميزات التصنيع بالموجات فوق الصوتية في عملية التصنيع ذات الفتحات الصغيرة